捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發射掃描電子顯微鏡
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捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發射掃描電子顯微鏡配備了冷場發射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達到極高的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發射掃描電子顯微鏡的電子光學系統將場發射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發射電子槍在低加速電壓下也能夠將電子束聚焦得很細，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發射掃描電子顯微鏡通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現的。新型 r-過濾器有標準SB（二次電子檢測）模式、標準BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
| 電子槍 | 冷場發射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 1pA ～ 2nA |
| 自動光闌角最佳控制透鏡 | 內置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 |
| 檢測器 |
高位檢測器（SED） 低位檢測器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內置 |
| 樣品交換室 |
內置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的最大樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺 | 5軸馬達驅動、全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉: 360° |
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