Keithley吉時利 半導體參數分析儀4200A-SCS
名稱：其他儀器與工具
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簡介：使用吉時利4200A-SCS參數分析儀（參數測試儀） 加快各類材料、半導體器件和先進工藝的開發，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是業內性能領先電學特性半導體參數分析儀，提供同步電流電壓曲線測試（IV曲線測試）、電容電...
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- 產品介紹
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
200 MSa/s，5 ns 采樣率
Keithley吉時利 半導體參數分析儀4200A-SCS主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
- 100 μF負載電容
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
- 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬態波形捕獲模式
- 任意波形發生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發生器單元(PGU)
- 兩個高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形發生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
- 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
- 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
- 降低電纜電容效應
參數查看，快速清晰。
4200A-SCS 參數分析儀從設置到運行檢定測試的時間減少高達 50％，從而實現無與倫比的測量和分析能力。此外，嵌入式測量專業知識提供無與倫比的測試指導，并讓您對最終結果充滿信息。
特點
- 用于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測量類型的高級測量硬件
- 立即使用 Clarius 軟件中所含的數百種用戶可修改應用程序測試開始測試
- 自動實時參數提取、數據繪圖、分析函數
準確的 C-V 表征
使用吉時利最新的電容-電壓單元 (CVU) 4215-CVU 測量一位數飛法。通過將 1 V AC 電源集成到吉時利行業領先的 CVU 架構中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進行低噪聲電容測量。
特點
- 同類產品中首款能夠驅動1 V AC 電源電壓的 CV 表
- 1 kHz 頻率，分辨率從1 kHz 到 10 MHz
- 測量電容、電導和導納
- 使用 4200A-CVIV 多路開關最多可測量四個通道
測量、 切換、 重復。
4200A-CVIV 多通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換，無需重新布線或抬起探頭端部。 與競爭產品不同，四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看，可快速完成測試設置，并在出現意想不到的結果時輕松排除故障。
特點
- 無需重新布線即可將 C-V 測量移動到任何設備終端
- 用戶可配置低電流功能
- 個性化輸出通道名稱
- 查看實時測試狀態
穩定的低電流測量，適用于 I-V 檢定
使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊，您可以在高電容系統中實現穩定的低電流測量。4200A-SCS 有四種型號的源測量單位 (SMU) 可供選擇，可通過定制滿足您所有的 I-V 測量需求。通過提供現場可安裝單元和可選的預放大器模塊，Keithley 可確保您獲得最準確的低電流測量，而停機時間很少甚至沒有。
特點
- 不必將儀器送回工廠即可增加 SMU
- 進行 飛安測量
- 多達 9 個 SMU 通道
- 針對長電纜或大卡盤進行了優化
帶分析探測器和低溫控制器的集成解決方案
4200A-SCS 參數分析儀支持許多手動和半自動晶片探測器和低溫控制器，包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。
特點
- “點擊”測試定序
- “手動”探測器模式測試探測器功能
- 假探測器模式無需移除命令即可實現調試
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