艾克賽普自動上下料傳送系統
名稱：系統集成
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簡介：艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775 主要特色： 低破片率 高產量 機器人傳送取放 表面檢查：選配 上貨載具：石英晶舟 下貨載具：Manz盒 / Cassette(選項) 通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中...
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- 產品介紹
艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775
主要特色：
低破片率
高產量
機器人傳送取放
表面檢查：選配
上貨載具：石英晶舟
下貨載具：Manz盒 / Cassette(選項)
通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟， 或長版晶舟來上下載具的傳輸設備。芯片的傳送使用高速富撓性的取放機器人。致茂在擴散過程中提供的載具傳輸設備，低破片率，高產量和低成本可滿足客戶的擴散制程功能要求。
